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顯微鏡探針冷熱臺對真空?壓力?氣氛和濕度的調(diào)節(jié)

日期： 09-28 13:52

顯微鏡探針冷熱臺在材料結(jié)構(gòu)?組織以及工藝過程等的微觀測量和研究中，對真空?壓力?氣氛和濕度的調(diào)節(jié)及控制能力有要求?

針對顯微鏡探針冷熱臺的真空壓力和氣氛的精密控制，需要達到的技術(shù)指標如下￤

（1）真空壓力￤絕對壓力范圍0.1Torr~1000Torr，控制精度為讀數(shù)的±1%?

（2）氣氛￤單一氣體或多種氣體混合，氣體濃度控制精度優(yōu)于±1%?

顯微鏡探針冷熱臺采用以下兩種獨立的技術(shù)可以實現(xiàn)真空壓力和氣氛的精確控制￤

（1）真空壓力控制￤采用動態(tài)平衡法技術(shù)，通過控制進入和排出測試腔體的氣體流量，使進氣和排氣流量達到動態(tài)平衡從而實現(xiàn)寬域范圍內(nèi)任意設(shè)定真空壓力的準確恒定控制?

（2）氣氛控制￤采用氣體質(zhì)量流量控制技術(shù)，分別控制多種工作氣體的流量，由此來實現(xiàn)環(huán)境氣體中的混合比?

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上一個：冷熱臺控溫精度達±0.1℃?可實現(xiàn)連續(xù)變溫及逐點控溫下一個：冷熱臺對材料進行測試的基本流程

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