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高低溫探針臺HCP-1C
產(chǎn)品描述:
高低溫探針臺HCP-1C?溫度范圍:-196~400℃?為小尺寸樣品測量電特性?提供高精度可控的測量環(huán)境?幫助精準測量和分析判斷晶圓器件的性能?可以實現(xiàn)基礎(chǔ)測試?保護氣氛電路測試?高低溫真空探針臺?超高頻探針臺?光電流分析?FA失效分析等測量和分析平臺??高低溫探針臺HCP-1C產(chǎn)品特點:
● 產(chǎn)品功能:高低溫探針臺為小尺寸樣品測量電特性,提供高精度可控的測量環(huán)境;
● 使用范圍:幫助精準測量和分析判斷晶圓器件的性能。
● 應(yīng)用領(lǐng)域:提供材料/器件的IV/CV特性測試,LD/LED/PD的光強/波長測試,射頻特性器件失效分析,芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測試等技術(shù)解決方案;
● 定制服務(wù):定制樣品臺和測量方式;
● 自動控溫:PID自整定連續(xù)多點控溫?
?高低溫探針臺設(shè)備HCP-1C技術(shù)參數(shù):
● 外形尺寸:長650mm*寬650mm*高1300mm;
● 溫度范圍:-196~400℃(環(huán)境溫度);
● 制冷加熱方式:液氮制冷,電阻加熱;
● 樣品臺尺寸:≤φ100mm;
● 有效高度:40mm;
● 真空度:機械泵≤10Pa,分子泵≤5.0 e-3Pa;
● 氣路:1-2路;
● 溫度傳感器:PT100;
● 控溫方式:PID線型調(diào)節(jié);
● 控溫精度:±0.1℃;
● 最大升溫速率:80℃/min(RT到100℃);
● 最大降溫速率:50℃/min(RT到-100℃);
● XYZ軸行程:50mm*50mm*10mm;
● 探針結(jié)構(gòu):外置探針臂,真空波紋管結(jié)構(gòu);
● 移動精度:0.01mm;
● 線纜:同軸線/射頻線;
● 探針類型:鎢探針(類型可選);
● 接頭類型:BNC/鱷魚夾/接線端子?
高低溫探針臺應(yīng)用
● 提供材料/器件的IV/CV特性測試;
● LD/LED/PD的光強/波長測試;
● 射頻特性器件失效分析;
● 芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測試?
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